Nikon lance le NSR

Prend en charge une variété de dispositifs semi-conducteurs et peut compléter ou remplacer les moteurs pas à pas existants

31 août 2023

TOKYO - Nikon Corporation a le plaisir d'annoncer le lancement du moteur pas à pas i-line à réduction 5x NSR-2205iL1, qui sera utilisé pour fabriquer une variété de dispositifs tels que les semi-conducteurs de puissance et de communication et les MEMS, et est entièrement compatible avec les i-Line Nikon existants. systèmes d'exposition de ligne. Le 2205iL1 offre un excellent prix et permettra une production optimisée de divers dispositifs semi-conducteurs, quel que soit le matériau de la plaquette. Le NSR-2205iL1 représente le renouvellement le plus important de la technologie pas à pas Nikon 5x au cours des vingt-cinq dernières années, et le développement du système répondait directement à la demande des clients pour ces systèmes de lithographie qui jouent un rôle essentiel dans la fabrication de puces.

À mesure que les véhicules électriques, les communications à haut débit et divers appareils informatiques deviennent de plus en plus répandus, la demande de semi-conducteurs pour les prendre en charge augmente de façon exponentielle. Ces semi-conducteurs doivent remplir diverses fonctions difficiles et, par conséquent, les fabricants d'appareils ont besoin de substrats et de systèmes d'exposition spécialisés pour fabriquer ces puces. Nikon satisfait souvent à ces exigences en matière de systèmes de lithographie par des moyens tels que la remise à neuf de moteurs pas à pas d'occasion. Cependant, l'offre de moteurs pas à pas remis à neuf peut être limitée et ne pas suffire à répondre aux demandes des clients. Par conséquent, pour fournir des solutions d'équipement d'exposition flexibles supplémentaires, Nikon lance un nouveau stepper 5x i-line qui exploite les connaissances acquises en travaillant en étroite collaboration avec les clients afin de leur fournir des solutions spécialisées pour répondre à la demande du marché ainsi que pour répondre aux besoins limités et vieillissants du stepper. approvisionnement.En plus d'élargir diverses options pour répondre aux divers besoins des clients, ce nouveau moteur pas à pas i-line prendra également en charge la production d'appareils à long terme.

Le NSR-2205iL1 offrira une productivité élevée tout en optimisant le niveau de rendement pour une variété de processus de fabrication de semi-conducteurs grâce à une mesure de plaquette de haute précision utilisant l'autofocus multipoint (AF), un nivellement avancé de l'étage de plaquette*1 et un large DOF (plage de profondeur de mise au point étendue), entre autres avantages. En outre, il est bien adapté à une variété d'applications en raison de sa compatibilité en termes d'épaisseur et de taille de tranche, de tolérance élevée au gauchissement des tranches et de capacités flexibles, y compris, mais sans s'y limiter, la prise en charge du traitement SiC (carbure de silicium) et GaN (nitrure de gallium). Le moteur pas à pas i-line NSR-2205iL1 offrira un excellent prix tout en satisfaisant les diverses exigences des fabricants de puces.

Les clients disposant de systèmes d'exposition Nikon i-line dans leur usine peuvent continuer à utiliser les actifs et les opérations déjà en place, tels que les photomasques et les recettes d'exposition des plaquettes. En plus d'être compatible avec les opérations de fabrication existantes, le 2205iL1 peut compléter ou remplacer les moteurs pas à pas existants qui ne répondent plus aux exigences de fabrication.

Le NSR-2205iL1 peut être utilisé en toute confiance sur une période prolongée car sa conception utilise des composants à usage général disponibles dans le commerce, ce qui facilite plus que jamais l'achat de pièces et fournit une solution de lithographie plus durable pour l'avenir.

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